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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Measurement technology

IEV ref 523-07-02

en
atomic force microscope
AFM
microscope that measures microscopic geometry by monitoring the displacement of a cantilever caused by the atomic force between the cantilever tip and the specimen while scanning the cantilever in a raster pattern

Note 1 to entry: The optical lever method is useful for monitoring the displacement of the cantilever. The displacement of the cantilever is measured by detecting the reflected light from the cantilever. There are three types of cantilever movement in the measurements: 1) the method wherein the cantilever contacts the specimen, 2) the method that monitors the amplitude change of the vibrating cantilever with cyclic contact (tapping mode), 3) the method that monitors the frequency change of the vibrating cantilever without contact between the cantilever and the specimen.

Note 2 to entry: This note applies to the French language only.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.7.2]


fr
microscope à force atomique, m
AFM, m
microscope qui mesure la géométrie microscopique en contrôlant le déplacement d'un microlevier provoqué par la force atomique entre l’extrémité du microlevier et le spécimen, au cours du balayage du microlevier en une configuration de trame

Note 1 à l’article: La méthode du levier optique est utile pour contrôler le déplacement du microlevier. Le déplacement du microlevier est mesuré en détectant la lumière réfléchie par le microlevier. Il existe trois types de mouvements de microlevier dans les mesures: 1) la méthode dans laquelle le microlevier touche le spécimen; 2) la méthode qui contrôle les variations d’amplitude du microlevier vibrant avec contact cyclique (mode contact intermittent); 3) la méthode qui contrôle les variations de fréquence du microlevier vibrant sans contact entre le microlevier et le spécimen.

Note 2 à l’article: Le terme abrégé "AFM" est dérivé du terme anglais développé correspondant "atomic force microscope".


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.7.2]


de
Atomkraftmikroskop, n
Rasterkraftmikroskop, n
AFM

ja
原子間力顕微鏡

nl BE
atoomkrachtmicroscoop, m
AFM, m

pl
mikroskop wykorzystujący siły atomowe, m
AFM

pt
microscópio de força atómica
AFM

zh
原子力显微镜
AFM

Publication date: 2018-12
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