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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Machining technology

IEV ref 523-05-10

en
etch stop
deposition of a very low etch-rate layer at a controlled depth that effectively terminates the etching process

Note 1 to entry: An etch stop is sometimes used as the termination layer of the etching process. There are two basic types of etch stop that are used in micromachining: dopant etch stop and electrochemical etch stop.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.25, modified – The definition has been rewritten.]


fr
arrêt de gravure, m
dépôt d'une couche formée à une vitesse de gravure très faible à une profondeur contrôlée qui termine efficacement le procédé de gravure

Note 1 à l’article: L'arrêt de gravure est parfois utilisé comme la couche de fin du procédé de gravure. Il existe deux grands types de méthodes d'arrêt de gravure utilisés en micro-usinage: l'arrêt de gravure au dopant et l'arrêt de gravure électrochimique.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.25, modifié – La définition a été réécrite.]


de
Ätzstopper, m

ja
エッチストップ

nl BE
etsstop, m

pl
ogranicznik trawienia, m

pt
paragem de decapagem
paragem de gravura

zh
刻蚀停止层

Publication date: 2018-12
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