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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Machining technology

IEV ref 523-05-06

en
LIGA process
process for creating a microstructure that can be used as a mould by using deep lithography, based on X-rays followed by electroforming

Note 1 to entry: LIGA is an acronym for Lithographie, Galvanoformung und Abformung, the German for lithography, electroforming, and moulding. Characteristics of the LIGA process include the ability to mass-produce high aspect-ratio microstructures with a line width of 1 µm to 10 µm and a height of several hundreds of micrometres, to allow the use of a wide range of materials including plastics, metals, and ceramics, and to be combined with silicon semiconductor elements, etc.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.13, modified – The definition has been rewritten.]


fr
procédé LIGA, m
procédé de création d'une microstructure qui peut être utilisé en tant que moule en utilisant la lithographie profonde, basé sur des rayons X suivi d'un électroformage

Note 1 à l’article: Le terme abrégé "LIGA" est dérivé du terme allemand développé correspondant "Lithographie, Galvanoformung und Abformung", signifiant lithographie, électroformage et moulage. Les caractéristiques du procédé LIGA incluent la capacité de produire en masse des microstructures à rapport largeur/longueur élevé, avec une largeur de trait de 1 µm à 10 µm et une hauteur de plusieurs centaines de micromètres, l’utilisation potentielle d’une large gamme de matériaux, y compris le plastique, les métaux et la céramique, et la combinaison possible avec les éléments à semiconducteurs de silicium, etc.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.13, modifié – La définition a été réécrite.]


de
LIGA-Prozess, m
LIGA-Verfahren, n

ja
LIGAプロセス

nl BE
LIGA-proces, n

pl
proces LIGA, m

pt
processo LIGA

zh
X射线深层光刻电铸成型工艺

Publication date: 2018-12
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