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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Machining technology

IEV ref 523-05-04

en
surface micromachining
micromachining that forms various substances in various microshapes on the substrate's surface

Note 1 to entry: Surface micromachining is a processing technique that applies for example chemical vapour deposition (CVD) to form various thin films on the substrate and uses a mask to perform selective removal of the substrate surface to produce movable parts and other structures. The dissolved layer that was deposited initially is called the sacrificial layer. A typical sacrificial layer material is phosphosilicate glass (PSG). This technology is applied to the fabrication of micro-beams, bearings, and links, etc.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.6]


fr
micro-usinage de surface, m
procédé de micro-usinage formant diverses substances revêtant diverses microformes à la surface du substrat

Note 1 à l’article: Le micro-usinage de surface est une technique de traitement qui applique par exemple un dépôt chimique en phase vapeur (CVD, chemical vapour deposition) pour former diverses couches minces sur le substrat et qui utilise un masque pour réaliser le retrait sélectif de la surface du substrat pour produire des parties mobiles et d’autres structures. La couche dissoute qui a été déposée initialement est appelée la couche sacrificielle. Le matériau typique de la couche sacrificielle est le verre de phosphosilicate (PSG, phosphosilicate glass). Cette technologie est appliquée à la fabrication de microfaisceaux, roulements, liaisons, etc.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.6]


de
Oberflächen-Mikromechanik, f
mikrostrukturelles Oberflächen-Fertigungsverfahren, n

ja
表面微細加工

nl BE
microbewerking op het oppervlak, f

pl
mikroobróbka powierzchniowa, f

pt
micromaquinagem de superfície
micromaquinagem superficial

zh
表面微加工

Publication date: 2018-12
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