Note 1 to entry: An example of bulk micromachining is a processing method based on etching by a chemical solution to remove unnecessary parts of a substrate. Covering the areas to be preserved with a mask of SiO₂ or Si₃N₄ ensures that etching cannot progress below the surface. Also, a boron-doped layer can stop the etching of the part below the surface layer. Recently, silicon fusion bonding has been used to fabricate still more complex structures.

[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.5]

Note 1 à l’article: Peut être citée à titre d’exemple de micro-usinage de volume une méthode de traitement fondée sur la gravure par solution chimique pour enlever les parties inutiles d’un substrat. Le fait de couvrir les zones à préserver avec un masque de SiO₂ ou Si₃N₄ assure que la gravure ne peut pas progresser hors de la surface. De même, une couche dopée au bore peut limiter la gravure à la partie située sous la couche en surface. Récemment, le collage par fusion du silicium a été utilisé pour fabriquer des structures encore plus complexes.

[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.5]