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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Functional elements

IEV ref 523-04-17

en
microvalve
mechanical device that controls the flow of fluid in a microscopic channel

Note 1 to entry: Microvalves, which are composed of such components as actuators and diaphragms, made of silicon, etc., control the flow in microscopic channels (narrower than several micrometres). For example, a gas flow control valve is composed of a stacked piezoelectric actuator and a diaphragm. To control high-viscosity fluids such as blood, it is necessary to enlarge the channel and increase the stroke of the valve drive. A mechanism using a shape-memory alloy coil and a bias spring has been developed experimentally for this purpose, as well as a mechanism that alters the channel by an electrostatic, magnetic, or piezoelectric actuator.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.25]


fr
microvanne, f
dispositif mécanique qui commande le flux de fluide dans un canal microscopique

Note 1 à l’article: Les microvannes, constituées de composants tels que des actionneurs et des diaphragmes réalisés en silicium, etc., commandent le flux dans les canaux microscopiques (de dimensions inférieures à plusieurs micromètres). Par exemple, une vanne de commande de l’écoulement gazeux est composée d’un actionneur piézoélectrique à empilement et d’un diaphragme. Pour commander les fluides à haute viscosité comme le sang, il est nécessaire d’élargir le canal et d’augmenter la course de l’entraînement de la vanne. Un mécanisme utilisant une bobine en alliage à mémoire de forme et un ressort biais a été développé expérimentalement à cet effet, ainsi qu’un mécanisme qui modifie le canal par un actionneur électrostatique, magnétique ou piézoélectrique.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.25]


de
Mikroventil, n

ja
マイクロバルブ

nl BE
microklep, f

pl
mikrozawór, m

pt
microválvula

zh
微阀

Publication date: 2018-12
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