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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Functional elements

IEV ref 523-04-08

en
microactuator
actuator produced by micromachining

Note 1 to entry: For a micromachine to perform mechanical work, the microactuator is indispensable as a basic component. Major examples are the electrostatic actuator prepared by a silicon process, the piezoelectric actuator that utilizes functional materials like lead zirconate titanate (PZT), the pneumatic rubber-actuator, and so on. Many other actuators based on various energy conversion principles have been investigated and developed. However, the energy conversion efficiency of all these actuators deteriorates as their size is reduced. Therefore, the motion mechanisms of organisms such as the deformation of protein molecules, the flagellar movement of bacteria, and muscle contraction are being utilized to develop special new actuators for micromachines.

Note 2 to entry: Micro-electrostatic actuators are actuated by a micro-electrostatic field, magnetic microactuators are driven by a micromagnetic field, and piezoelectric microactuators depend on a microstress field to convey motion and power.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.2]


fr
micro-actionneur, m
actionneur produit par micro-usinage

Note 1 à l’article: Pour une micromachine réalisant des travaux mécaniques, le micro-actionneur est indispensable en tant que composant de base. Peuvent être cités à titre d’exemples principaux l’actionneur électrostatique préparé par procédé silicium, l’actionneur piézoélectrique qui utilise des matériaux fonctionnels comme le plomb-zirconium-titane (PZT), l’actionneur caoutchouc pneumatique, et ainsi de suite. De nombreux autres actionneurs fondés sur divers principes de conversion énergétique ont été étudiés et développés. Cependant, tous ces actionneurs voient leur rendement de conversion énergétique se détériorer lorsque leur taille est réduite. Par conséquent, les mécanismes de mouvements d’organismes tels que la déformation de molécules de protéines, le mouvement flagellaire de bactéries et la contraction musculaire sont utilisés pour développer de nouveaux actionneurs spéciaux pour les micromachines.

Note 2 à l’article: Les actionneurs microélectrostatiques sont actionnés par un champ microélectrostatique, les micro-actionneurs magnétiques sont entraînés par un champ micromagnétique, et les micro-actionneurs piézoélectriques dépendent d'un champ de microcontrainte pour amener le déplacement et la puissance.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.2]


de
Mikroaktor, m

ja
マイクロアクチュエータ

nl BE
microactuator, m

pl
mikrosiłownik, m
mikroaktuator, m

pt
microatuador

zh
微执行器

Publication date: 2018-12
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