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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Science and engineering

IEV ref 523-02-04

phenomenon in which a moving structure is stuck to another structure or substrate by adhesion forces

Note 1 to entry: When structures become smaller, stiction appears significant owing to the scale effect, meaning that surface forces predominate over body forces. Stiction frequently occurs in the MEMS fabrication process when small structures are released during wet etching processes owing to the surface tension of liquid. Representative adhesion forces that cause stiction are van der Waals force, electrostatic force, and surface tension of liquid between structures.

[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.2.7]

frottement par adhérence, m
phénomène par lequel une microstructure en mouvement reste attachée à une autre structure ou à un substrat par des forces d'adhérence

Note 1 à l’article: Lorsque des structures deviennent plus petites, le frottement par adhérence devient important en raison de l'effet d'échelle par lequel les forces de surface sont plus importantes que les forces de masse. Un frottement par adhérence se produit fréquemment dans le procédé de fabrication de MEMS, lorsque de petites structures sont produites pendant les procédés de gravure humide en raison de la tension superficielle du liquide. Parmi les forces d'adhérence causant le frottement par adhérence figurent les forces de van der Waals, les forces électrostatiques et la tension de surface d'un liquide entre des structures.

[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.2.7]

Haftreibung, f


nl BE
gebonden wrijving, f

tarcie spoczynkowe, n

atrito de aderência estático


Publication date: 2018-12
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